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氟材料在半导体·液晶制造用途领域中的应用

多彩的氟化学制品支撑着半导体和液晶的制造业

在不容许有一点点杂质的世界中,高纯度耐药品性能优异的氟树脂、氟橡胶、工程塑料等高品质的氟化学制品正在发挥着重要的作用。

  • 药液管道材料
  • 排气设备
  • 药液储罐
  • 软管·接头
    阀门·过滤器
  • 密封材
  • 过滤器
  • 腐蚀材料
  • 精密化学
    特殊定制服务

半导体·液晶制造用途

【化工设备】药液管道材料

药液用的管道材料常使用纯度高、耐药品性能好的氟树脂NEOFLON PFA

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【化工设备】排气装置

排气用的通风装置,常使用阻燃性和耐药品性能优越的氟涂料。

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【化工设备】药液储罐

为了维持储罐内的药品安全且保证其纯度,使用了高纯度耐药品性优异的氟树脂进行内衬处理。另外,储罐的外部涂有Zeffle热反射隔热涂料,延长储罐的使用周期。

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【制造设备】软管、接头、阀门、过滤器

半导体制造装置内的软管、接头、阀门、过滤器等大多数的零部件是使用耐药品性良好的氟树脂NEOFLON PFA。

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【制造设备】密封材

半导体密封材料,采用高纯度耐药品性能优异的DUPRA

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【无尘室】空气过滤器

氟树脂用于过滤材料作成过滤器具有低压损、高效率、优异的耐药品性。用于无尘室。

 


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【工艺材料】蚀刻剂

在高洁净的制造工程中,使用高纯度的蚀刻剂

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【工艺材料】精密化学(定制合成)

可以按照客户的设计要求定制合成含氟的ARC(防止反射)材料、绝缘膜材料。

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