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在不容许有一点点杂质的世界中,高纯度耐药品性能优异的氟树脂、氟橡胶、工程塑料等高品质的氟化学制品正在发挥着重要的作用。
药液用的管道材料常使用纯度高、耐药品性能好的氟树脂NEOFLON PFA
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排气用的通风装置,常使用阻燃性和耐药品性能优越的氟涂料。
为了维持储罐内的药品安全且保证其纯度,使用了高纯度耐药品性优异的氟树脂进行内衬处理。另外,储罐的外部涂有Zeffle热反射隔热涂料,延长储罐的使用周期。
应用产品:
半导体制造装置内的软管、接头、阀门、过滤器等大多数的零部件是使用耐药品性良好的氟树脂NEOFLON PFA。
半导体密封材料,采用高纯度耐药品性能优异的DUPRA
氟树脂用于过滤材料作成过滤器具有低压损、高效率、优异的耐药品性。用于无尘室。
在高洁净的制造工程中,使用高纯度的蚀刻剂
可以按照客户的设计要求定制合成含氟的ARC(防止反射)材料、绝缘膜材料。